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高精度反射鏡的玻璃材料
在溫度劇烈變化的環(huán)境下使用面型精度較高的反射鏡時(shí)，反射鏡的面型精度有時(shí)會(huì )產(chǎn)生變化。
這是由于反射鏡的玻璃基板上產(chǎn)生溫度分布，溫度高的部分和低的部分膨脹的數量不同。因此，需要高精度反射鏡時(shí)，基板需要使用低膨脹材料。
一般經(jīng)常使用石英玻璃（熱膨脹系數5.5×10^－7/℃），但是要求更高精度時(shí)，使用低膨脹玻璃或被稱(chēng)為零膨脹玻璃的材料。

高精度反射鏡的玻璃材料-微晶玻璃^®


是在低膨脹玻璃中混有膨脹系數為負的晶體的晶體化玻璃，在0℃?50℃的溫度范圍內膨脹系數可以降低到±1×10⁻⁷/℃。

由于晶體的散射導致玻璃變得模糊不清，玻璃中的光線(xiàn)將會(huì )被衰減。
由于比較容易加工，容易拋光，常被用于大型的反射鏡中。
微晶玻璃^®是SCHOTT AG的注冊商標。

 
高精度反射鏡的玻璃材料CLEARCERAM^®-Z
玻璃中析出負膨脹系數微小晶體的零膨脹的晶體化玻璃。

在0℃?50℃的溫度范圍內膨脹系數可以降低到±1×10⁻⁷/℃。
由于玻璃內部是透明的，可以通過(guò)光線(xiàn)。具有良好的導熱性質(zhì)，機械性質(zhì)，化學(xué)性質(zhì)，可用于激光反射鏡或樣板塊規。
CLEARCERAM^®是株式會(huì )社小原的注冊商標。