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　　大家都知道的是振動(dòng)是一種能量，它以振動(dòng)波傳遞，具有一定的頻率。我們的設備在運行時(shí)也有一個(gè)頻率段，當二者有重合的時(shí)候就是非常我們所說(shuō)的振動(dòng)與不穩定。通常的振動(dòng)頻率一般都是高頻，可在50-100HZ，而細微隔振就是通過(guò)隔振裝置達到衰減、吸收客觀(guān)環(huán)境下的振動(dòng)能量，降低振動(dòng)頻率使之降到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。
 

　　隔振平臺被設計用來(lái)使超精密儀器設備可以隔離來(lái)自于建筑地面的振動(dòng)，可隔離的頻率低于1Hz。該系統可理想應用于光學(xué)顯微鏡、掃描探針顯微鏡(SPM)及計量?jì)x器。具有主動(dòng)隔振系統設計，可以輕松選擇并設置三個(gè)增益中的一個(gè)以獲得適合當前環(huán)境的性能。

　　隔振平臺主要還是包含了這五個(gè)組成部分：隔振臺面、減振單元、支撐腿、安全裝置、可調地腳。核心部件是減振單元和工作臺面。
 

　　隔振平臺的工作臺面按材質(zhì)大體分兩大類(lèi)：大理石臺面和不銹鋼臺面。大理石臺面一般對工作面是00級要求，而不銹鋼臺面也要求有不超過(guò)0.02mm的水平誤差，這一切都是基于保證設備水平的技術(shù)要。
 

　　隔振平臺的減振單元主要使用氣浮減振器(空氣彈簧減振器)。具體又可以根據實(shí)際的使用情況下選擇精密氣浮減振器和常規的氣浮減振器。