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光致發(fā)光光譜成像測量系統 PMEye-3000

PMEye-3000光致發(fā)光光譜成像（PL-Mapping）測量系統是卓立漢光 新研制的，用于LED外延片、半導體晶片、太陽(yáng)能電池材料等，在生產(chǎn)線(xiàn)上的質(zhì)量控制和實(shí)驗室中的產(chǎn)品研發(fā)檢測。該系統對樣品的PL譜進(jìn)行Mapping二維掃描成像，掃描結果以3D方式進(jìn)行顯示，使檢測結果更易于分析和比較。該系統的軟件窗口界面友好，操作簡(jiǎn)單，只需簡(jiǎn)單培訓就能使用。

測試原理：
PL（光致發(fā)光）是一種輻射復合效應。在一定波長(cháng)光源的激發(fā)下，電子吸收激發(fā)光子的能量，向高能級躍遷而處于激發(fā)態(tài)。激發(fā)態(tài)是不穩定的狀態(tài)，會(huì )以輻射復合的形式發(fā)射光子向低能級躍遷，這種被發(fā)射的光稱(chēng)為熒光。熒光光譜代表了半導體材料內部，一定的電子能級躍遷的機制，也反映了材料的性能及其缺陷。PL是一種用于提供半導體材料的電學(xué)、光學(xué)特性信息的光譜技術(shù)，可以研究帶隙、發(fā)光波長(cháng)、結晶度和晶體結構以及缺陷信息等等。

光致發(fā)光光譜成像測量系統應用領(lǐng)域舉例：
LED外延片，太陽(yáng)能電池材料，半導體晶片，半導體薄膜材料等檢測與研究。

主要特點(diǎn)： ◆ PLMapping測量 ◆ 多種激光器可選 ◆ Mapping掃描速度：180點(diǎn)/秒 ◆ 空間分辨率：50um ◆ 光譜分辨率：0.1nm@1200g/mm ◆ Mapping結果以3D方式顯示 ◆ 大8吋的樣品測量 ◆ 樣品定位 ◆ 樣品真空吸附 ◆ 可做低溫測量 ◆ 膜厚測量

一體化設計，操作符合人體工學(xué)
PMEye3000 PL Mapping測量系統采用立式一體化設計，關(guān)鍵尺寸根據人體工學(xué)理論設計，不管是樣品的操作高度和電腦使用高度，都特別適合于人員操作。主機與操作平臺高度集成，方便于在實(shí)驗室和檢測車(chē)間里擺放。儀器側面設計有可收放平臺，可擺放液晶顯示器和鼠標鍵盤(pán)。儀器底部裝有滾輪，方便于儀器在不同場(chǎng)地之間的搬動(dòng)。
模塊化設計
PMEye-3000 PL Mapping測量系統全面采用模塊化設計思想，可根據用戶(hù)的樣品特點(diǎn)來(lái)選擇規格配置，讓用戶(hù)有更多的選擇余地。激發(fā)光源、樣品臺、光譜儀、探測器、數據采集設備都實(shí)現了模塊化設計。

操作簡(jiǎn)便、全電腦控制
PMEye-3000 PL Mapping測量系統，采用整機設計，用戶(hù)只需要根據需要放置檢測樣品，無(wú)需進(jìn)行復雜的光路調整，操作簡(jiǎn)便；所有控制操作均通過(guò)計算機來(lái)控制實(shí)現。
全新的樣品臺設計，采用真空吸附方式對樣品進(jìn)行固定，避免了用傳統方式固定樣品而造成的損壞；可對常規尺寸的LED外延片樣品進(jìn)行定位，提高測量重復精度。

兩種測量方式,用途更廣泛
系統采用直流和交流兩種測量模式，直流模式用于常規檢測，交流模式用于微弱熒光檢測。

監控激發(fā)光源,校正測量結果
一般的PL測量系統只是測量熒光的波長(cháng)和強度，而沒(méi)有對激發(fā)光源進(jìn)行監控，而激發(fā)光源的不穩定性將會(huì )對PL測量結果造成影響。PMEye-3000 PL Mapping測量系統增加對激光強度的監控，并根據監控結果來(lái)對PL測量進(jìn)行校正。這樣就可以消除激發(fā)光源的不穩定帶來(lái)的測量誤差。

激光器選配靈活
PMEye-3000 PL Mapping測量系統有多種高穩定性的激光器可選，系統 多可內置2個(gè)激光器和一個(gè)外接激光器，標配為1個(gè)405nm波長(cháng)高穩定激光器。用戶(hù)可以根據測量對象選配不同的激光器，使PL檢測更加精準。
可選配的激光器波長(cháng)有： 405nm，442nm，532nm、785nm、808nm等，外置選配激光器波長(cháng)為：325nm。

自動(dòng)Mapping功能
PMEye-3000 PL Mapping測量系統配置200×200mm的二維電控位移臺， 大可測量8英寸的樣品。用戶(hù)可以根據不同的樣品規格來(lái)設置掃描區域、掃描步長(cháng)、掃描速度等，掃描速度可高達每秒180個(gè)點(diǎn)，空間分辨率可達50um。掃描結果以3D方式顯示，以不同的顏色來(lái)表示不同的熒光強度。

軟件功能豐富,操作簡(jiǎn)便
我們具有多年的測量系統操作軟件開(kāi)發(fā)經(jīng)驗，,熟悉試驗測量需求和用戶(hù)的操作習慣，從而使開(kāi)發(fā)的這套PMEye-3000操作軟件功能強大且操作簡(jiǎn)便。
MEye-3000操作軟件提供單點(diǎn)PL光譜測量及顯示，單波長(cháng)的X-Y Mapping測量，給定光譜范圍的X-Y Mapping測量及根據測量數據進(jìn)行峰值波長(cháng)、峰值強度、半高寬、給定波長(cháng)范圍的熒光強度計算并以Mapping顯示，Mapping結果以3D方式顯示。同時(shí)具有多種數據處理方式來(lái)對所測量的數據進(jìn)行處理。 


低溫樣品室附件
該附件可實(shí)現樣品在低溫狀態(tài)下的熒光檢測。有些樣品在不同的溫度條件下，將呈現不同的熒光效果，這時(shí)就需要對樣品
進(jìn)行低溫制冷。

PMEye-3000主要功能和技術(shù)參數
● 激發(fā)光源：405nm低噪聲半導體激光器，功率：100mW（標配）
● 光譜分辨率：0.1nm（@1200g/mm光柵）
● 光探測器：硅光電探測器，200-1100nm
● 數據采集器：DCS300PA（直流模式，標配）；SR830鎖相放大器（交流模式，選配）
● 二維移動(dòng)樣品臺，行程200mm，重復定位精度 <3μm
● 樣品臺：可放置6”晶片，真空吸附
● 掃描速度：10,800點(diǎn)/s
● 掃描步長(cháng)： 小可達1.25μm
● 空間分辨率：<50μm
● 掃描模式：?jiǎn)吸c(diǎn)光譜掃描、單波長(cháng)mapping、峰值波長(cháng)mapping、峰值強度mapping等