Helios是全自動(dòng)實(shí)時(shí)材料分級和過(guò)程控制的在線(xiàn)監控設備，
鑒別太陽(yáng)能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產(chǎn)效率的同時(shí)降低成本。每條生產(chǎn)線(xiàn)每年提升效益170萬(wàn)美元！
應用：
1.進(jìn)料監控 通過(guò)少子壽命自動(dòng)對晶圓定級
2.過(guò)程控制 監控和優(yōu)化關(guān)鍵工序，如擴散和鍍膜等
3.損傷鑒別 檢測電池片成品的破損和微小裂痕
特點(diǎn)：
1. 線(xiàn)上監控或線(xiàn)下分析都適用
2. 采用InGaAs探頭提升測量靈敏度，減少檢測時(shí)間
3. 采用高靈敏光學(xué)成像技術(shù)，每片晶圓測試時(shí)間<1s
4. 鑒別并預防低質(zhì)量材料進(jìn)入高損耗工序，降低成本
5. 采用簡(jiǎn)單明了的圖形界面和是非判定
6. 相比于其他同類(lèi)PL系統更具性?xún)r(jià)比
