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產(chǎn)品展示

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三維表面形貌測量?jì)x

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-20
  • 簡(jiǎn)要描述:三維表面形貌測量?jì)x這款儀器采用非接觸式線(xiàn)光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結構,對肉眼不可見(jiàn)的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和*的穩定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應用領(lǐng)域。
  • 產(chǎn)品介紹

隨著(zhù)半導體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設備應用潮流。隨著(zhù)電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來(lái),這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來(lái)越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來(lái)很多制程工序只要管控2D的尺寸,現在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個(gè)高速、高精度的測量手段來(lái)管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生,這款儀器采用非接觸式線(xiàn)光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結構,對肉眼不可見(jiàn)的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和*的穩定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應用領(lǐng)域。

 

卓立漢光長(cháng)期專(zhuān)注于光譜技術(shù)的應用研發(fā),3D形貌測試儀就是常年實(shí)踐積累的成果(利號:CN207556477U)。該項技術(shù),具有以下優(yōu)點(diǎn):

技術(shù)

線(xiàn)性共焦光譜技術(shù)

點(diǎn)測技術(shù)

激光掃描

3D相機

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

掃描寬度

6.5mm/20mm

點(diǎn)

可選

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面層數

多層

多層

表面

表面

建模

數據量

 

三維表面形貌測量?jì)x主要特點(diǎn)有:

1、非接觸性測量;

2、線(xiàn)掃描,高效率;

3、微米級精度;

4、滿(mǎn)足透明面及高對比度表面測試;

5、支持二次開(kāi)發(fā);

 

三維表面形貌測量?jì)x主要應用

1、精密部件3D尺寸及段差測試;

2、精密點(diǎn)膠膠線(xiàn)截面、膠線(xiàn)寬度、膠線(xiàn)高度測試;

3、3D玻璃缺陷檢測;

4、半導體表面缺陷測試;

5、多層薄膜厚度測試;

 

3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規格

 

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光譜

共焦光譜

精度

1um

8um

重復性

±0.3um

±4um

線(xiàn)掃寬度

6.5mm

20mm

Z軸量程范圍

1.3mm

5mm

掃描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

 

 

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