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隨著(zhù)半導體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設備應用潮流。隨著(zhù)電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來(lái),這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來(lái)越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來(lái)很多制程工序只要管控2D的尺寸,現在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個(gè)高速、高精度的測量手段來(lái)管控生產(chǎn)品質(zhì)。
卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生,這款儀器采用非接觸式線(xiàn)光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結構,對肉眼不可見(jiàn)的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和*的穩定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應用領(lǐng)域。
卓立漢光長(cháng)期專(zhuān)注于光譜技術(shù)的應用研發(fā),3D形貌測試儀就是常年實(shí)踐積累的成果(利號:CN207556477U)。該項技術(shù),具有以下優(yōu)點(diǎn):
技術(shù) | 線(xiàn)性共焦光譜技術(shù) | 點(diǎn)測技術(shù) | 激光掃描 | 3D相機 |
速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
掃描寬度 | 6.5mm/20mm | 點(diǎn) | 可選 | 大 |
分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
界面層數 | 多層 | 多層 | 表面 | 表面 |
建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
數據量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
三維表面形貌測量?jì)x主要特點(diǎn)有:
1、非接觸性測量;
2、線(xiàn)掃描,高效率;
3、微米級精度;
4、滿(mǎn)足透明面及高對比度表面測試;
5、支持二次開(kāi)發(fā);
三維表面形貌測量?jì)x主要應用
1、精密部件3D尺寸及段差測試;
2、精密點(diǎn)膠膠線(xiàn)截面、膠線(xiàn)寬度、膠線(xiàn)高度測試;
3、3D玻璃缺陷檢測;
4、半導體表面缺陷測試;
5、多層薄膜厚度測試;
3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規格
| HawkEye-1300 | HawkEye-5000 |
方式 | 共焦光譜 | 共焦光譜 |
精度 | 1um | 8um |
重復性 | ±0.3um | ±4um |
線(xiàn)掃寬度 | 6.5mm | 20mm |
Z軸量程范圍 | 1.3mm | 5mm |
掃描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
重量 | 5Kg | 8Kg |
尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |
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